六氟化钨的用途（六氟化钨）

本篇文章给大家谈谈六氟化钨，以及六氟化钨的用途对应的知识点，希望对各位有所帮助，不要忘了收藏本站喔。

本文目录一览：

• 1、特气是什么
• 2、六氟化钨与二氧化硅反应吗？
• 3、谁知道六氟化钨的易燃性、稳定性、健康性、特殊性 如：“氧气”的易燃性0、稳定性0、健康性0、特殊性0x

特气是什么

特种的气体，用于半导体的高纯度气体（或者叫电子气体）是一种生产半导体、液晶、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊的高纯度气体。从大的方面来说，有用于制作半导体配线的气体材料、用于蚀刻（进行半导体细微加工工程）、用于生产设备清洁工艺的气体。

比方说，三氟化氮是被广泛应用于生产设备的清洁气体（Cleaning Gas），六氟化钨是作为半导体的钨配线材料，其需求正急剧上升。

作为NAND（非挥发性存储半导体）、DRAM（挥发性存储半导体）等存储半导体的蚀刻气体（Etching Gas），氯气、溴化银、氟甲烷、四氟化碳、八氟环丁烷、六氟丁二烯等的需求正在增长。

扩展资料

电子特气是集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料，被广泛应用于薄膜、掺杂、腔室清洗、光刻、刻蚀、清洗、载气、保护气等工艺。2018年电子特气在半导体前道制造所需材料中占比高达18%。

中国电子特气的发展对我国半导体芯片产业的发展起着至关重要的作用，也直接关系到国民经济发展和国家战略安全。

日韩贸易摩擦把半导体材料对一个国家的重要性体现得淋漓尽致，仅仅高纯度氟化氢，光刻胶和氟化聚酰亚胺三种产品就能对整个韩国国民经济构成严重影响。日韩半导体材料事件也为国内半导体产业敲响了警钟，未来半导体材料的国产化进程将会加速。

参考资料来源：百度百科-电子特气

六氟化钨与二氧化硅反应吗？

应该不反应，二氧化硅是硅的最高氧化值，不能再被氧化，基本不容易氧化六氟化钨

谁知道六氟化钨的易燃性、稳定性、健康性、特殊性 如：“氧气”的易燃性0、稳定性0、健康性0、特殊性0x

国标编号 23025

CAS号 7783-82-6

分子式 WF6

分子量 297.8

无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟;沸 点 17.5℃;熔点2.3℃;溶解性:溶于多数有机溶剂;密度:相对密度(水=1)3.44(15℃);稳定性:稳定;危险标记 6(有毒气体);主要用途:用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂

2.对环境的影响:

一、健康危害

侵入途径：吸入、食入。

健康危害：遇潮湿、空气或水分解，散发也剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。本品对眼睛、皮肤和粘膜能引起非常严重的烧伤。

二、毒理学资料及环境行为

毒性：具有剧烈刺激性。

危险特性：能与许多物质发生化学反应。遇潮气、空气或水解，放出剧毒的腐蚀性氟化氢气体。腐蚀性很强，能侵蚀几乎所有的金属，能迅速腐蚀湿的玻璃。

燃烧(分解)产物：氟化氢。

3.现场应急监测方法:

速测管法;离子选择性电极法

4.实验室监测方法:

离子选择性电极法(GB7484-87，水质)

滤膜氟离子选择电极法(GB/T15434-95，空气)

5.环境标准:

中国(TJ36-79) 车间空气中有害物质的最高容许浓度 1mg/m3[F]

中国(TJ36-79) 居住区大气中有害物质的最高容许浓度) 0.02mg/m3(一次值)

0.007mg/m3(日均值)

中国(GB5048-92) 农田灌溉水质标准(氟化物) 2.0～3.0mg/L(水作，旱作，蔬菜)

中国(GB11607-89) 渔业水质标准 1mg/L(氟化物)

中国(GB5749-85) 生活饮用水卫生标准 1.0mg/L(氟化物)

中国(GB5058.3-1996) 固体废弃物浸出毒性鉴别标准值 50mg/L(氟化物)

6.应急处理处置方法:

一、泄漏应急处理

迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内，抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

二、防护措施

呼吸系统防护：可能接触毒物时，必须佩戴防毒面具。

眼睛防护：戴安全防护眼镜。

身体防护：穿胶布防毒服。

手防护：戴防化学品手套。

其它：工作后，淋浴更衣。定期体检。

三、急救措施

皮肤接触：脱去污染的衣着，用流动清水冲洗。在灼伤处涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水。就医。

眼睛接触：立即翻开上下眼睑，立即用大量流动清水彻底冲洗至少15分钟。就医。

吸入：脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。立即就医。

食入：误服者用水漱口，饮牛奶或蛋清，立即就医。

灭火方法：泡沫、二氧化碳、干粉。

六氟化钨的介绍就聊到这里吧，感谢你花时间阅读本站内容，更多关于六氟化钨的用途、六氟化钨的信息别忘了在本站进行查找喔。